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光学测量装置_图文_百度文库

发布时间:2021-01-23 18:43 作者:皇家体育

  光学测量装置。(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利说明书 (10)申请公布号 CN104515739B (43)申请公布日 2017.04.26 (21)申请号 CN7

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利说明书 (10)申请公布号 CN104515739B (43)申请公布日 2017.04.26 (21)申请号 CN7.6 (22)申请日 2014.09.30 (71)申请人 日立乐金光科技株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 大泽贤太郎 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 代理人 龙淳 (51)Int.CI 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)发明名称 光学测量装置 (57)摘要 本发明提供一种光学测量装置,可抑 制来自测量对象表面或测量对象保持部的反 射光的影响,得到测量对象的清晰的像。本 发明的光学测量装置使从光源(301)出射的激 光分束为信号光、参考光和控制光,利用物 镜(309)使信号光会聚照射到测量对象(312) 上。控制光由离焦控制部(316、317、318)控 制离焦量,并由相位控制部(313、314)控制 相位。使被测量对象反射或散射的信号光与 控制光合束而生成被控信号光,并使被控信 号光与参考光合束,利用干涉光学系统(333) 生成相位关系彼此不同的多束干涉光,进行 相位分集检测。 法律状态 法律状态公告日 2015-04-15 2015-05-13 2017-04-26 法律状态信息 公开 实质审查的生效 授权 法律状态 公开 实质审查的生效 授权 权利要求说明书 光学测量装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看 说明书 光学测量装置的说明书内容是....请下载后查看


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